半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米計(jì)算，因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴(yán)重后果。所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這就是半導(dǎo)體車間凈化的來由。
一、半導(dǎo)體車間實(shí)景圖
二、凈化原理
在凈化工程中，含有雜質(zhì)的液化氣體通過第一吸收裝置以去除其液相中的雜質(zhì)，從而產(chǎn)生初次凈化流體；使這初次凈化流體通過蒸發(fā)裝置以去除其中的雜質(zhì)，從而產(chǎn)生二次凈化氣體；和使二次凈化氣體通過第二吸收裝置以去除其汽相中的雜質(zhì)，從而達(dá)到凈化效果。
三、技術(shù)要求及功能特點(diǎn)
技術(shù)要求：
對(duì)生產(chǎn)環(huán)境清潔度要求極高；
選擇不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主；
恒溫恒濕的系統(tǒng)要求使用；
所用的原材料需要符合工藝要求；
功能特點(diǎn)：
清潔度：半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。
特殊性：所有人或事情進(jìn)出尖端半導(dǎo)體，必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過風(fēng)淋室的吹淋已將表面的灰塵清洗掉；
防靜電：在材質(zhì)選擇方面，應(yīng)該選擇不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì);
嚴(yán)謹(jǐn)性：所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此，尖端半導(dǎo)體室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在潔凈無塵車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。
四、應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體車間凈化裝修現(xiàn)在已經(jīng)廣泛運(yùn)用于制藥工業(yè)、細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室等行業(yè)中，隨著半導(dǎo)體凈化裝修日益地朝著高集成度發(fā)展,這就要求各元件尺寸愈來愈微細(xì)，而硅片的面積向大型化方向發(fā)展，在一定程度上促進(jìn)的我國生物工程的發(fā)展。
