近日,視閣國(guó)際報(bào)道了由美國(guó)政策禁止向中興通訊銷售一切產(chǎn)品導(dǎo)致了芯片危機(jī),現(xiàn)國(guó)家出臺(tái)全面政策大力扶持本國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,在未來(lái)的一段時(shí)間里,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)會(huì)有可以預(yù)見(jiàn)的高速發(fā)展,而影響芯片生產(chǎn)的因素之一便有半導(dǎo)體生產(chǎn)車間,它是芯片生產(chǎn)最重要的一部分,那么半導(dǎo)體生產(chǎn)車間在生產(chǎn)芯片時(shí)有哪些要求呢?
一、半導(dǎo)體生產(chǎn)車間介紹
高端精細(xì)的芯片制備過(guò)程對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的生產(chǎn)環(huán)境和設(shè)備要求是極高的,這些機(jī)器設(shè)備會(huì)令硅芯片遭受超強(qiáng)真空處理、「化學(xué)浴」浸泡、高能等離子體加工、紫外光照射等一系列步驟,同時(shí)還要使硅芯片經(jīng)過(guò)數(shù)百個(gè)制造階段,從而將它們變成CPU、存儲(chǔ)器片、圖形處理器等。
二、半導(dǎo)體生產(chǎn)車間芯片生產(chǎn)環(huán)境要求
芯片生產(chǎn)車間無(wú)塵室屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
2、垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
3、與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值:
5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給無(wú)塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
7、凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,
三、半導(dǎo)體生產(chǎn)空間潔凈度要求
半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴(yán),除了要求恒溫恒濕外,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很嚴(yán),按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級(jí)。一般分為:10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、國(guó)標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
近些年美國(guó)對(duì)于中國(guó)進(jìn)行芯片威脅和打壓,讓中國(guó)制定了集成電路產(chǎn)業(yè)的策略,始終保持戰(zhàn)略定位,苐三代半導(dǎo)體的研制,國(guó)產(chǎn)化十新基建,引爆芯片強(qiáng)勁需求,展示芯片很強(qiáng)動(dòng)力和潛力,推出了眾多的優(yōu)惠利好的政策,更是加速了芯片行業(yè)的發(fā)展,這讓半導(dǎo)體生產(chǎn)車間這一芯片產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)核心設(shè)施也得到了高度的重視和高速的發(fā)展。上海有盛凈化公司匯聚了眾多高級(jí)技術(shù)人才,形成了工作經(jīng)驗(yàn)豐富的工作團(tuán)隊(duì),專注于半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的系統(tǒng)工程的品質(zhì)保障。